Слухи о запуске в Китае серийного производства оборудования для иммерсионной DUV-литографии всколыхнули рынок. Такие системы позволяют выпускать относительно продвинутые чипы, но, по оценкам экспертов, отстают от техники нидерландской ASML.
Китайская система SSX800 примерно сопоставима с ASML Twinscan NXT:1950i — сканером, вышедшим на рынок ещё в 2008 году и рассчитанным на 28-нм техпроцесс.
Родственная модель SSA800 на 70 % состоит из компонентов местного производства. Источники лазерного излучения, зеркала, оптику и управляющее ПО по-прежнему приходится импортировать.
Западные аналитики считают, что китайские установки для 28-нм чипов отстают примерно на четыре поколения. SSA800 обрабатывает 150 пластин в час, но выход годной продукции далёк от целевых 90–95 %.
Для массового внедрения такие системы пока «сыроваты» и выпускаются в мизерных количествах.
Reuters назвало производителя — Shanghai Aishengna Electronic Technology Group. Компания основана в августе 2023 года с уставным капиталом около $1 млн, среди соучредителей — структуры, связанные с властями Шанхая.
Штат усилили выходцами из Shanghai Yuliangsheng, начавшей тестировать прототип DUV-сканера год назад, и из более известной Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE).
В сентябре прошлого года стало известно, что SMIC тестирует иммерсионную DUV-систему Yuliangsheng: она должна обеспечить выпуск 28-нм чипов с 2027 года.
В октябре сообщалось, что китайские клиенты ASML просили компанию помочь собрать одну из её литографических систем — ту, что они разбирали на части, вероятно, ради копирования.
По данным китайских источников, Yuliangsheng, SMEE и Shanghai Aishengna опираются на работу одной и той же инженерной команды. SMEE передала разработку DUV-систем Yuliangsheng, сосредоточившись на оборудовании класса EUV.
The Information утверждает, что производитель с господдержкой уже наладил серийный выпуск. В этом году планируется пять установок, в следующем — около двадцати.
Покупателями называют SMIC, HuaHong Semiconductor и ChangXin Memory Technologies. Импортозамещение способно пошатнуть позиции ASML в Китае, хотя местные DUV-системы уступают западным по производительности и надёжности.
За три торговые сессии акции ASML потеряли более 13 %, Infineon Technologies — 15,5 %. Отскок наметился в четверг после заявлений аналитиков JP Morgan об избыточной реакции рынка.
ГосСМИ Китая не подтвердили начало выпуска DUV-оборудования, но намекнули, что «западная блокада» утратила эффективность и скрываемые технологии однажды станут рутиной местной промышленности.