Рынок лазерных источников для литографических систем контролируют японская Gigaphoton и европейская Cymer, входящая в ASML. Китайским разработчикам сложно создать источники излучения, стабильно работающие на высоких мощностях.
Huawei инвестирует в пекинскую RSLaser Opto-Electronics — поставщика источников света для DUV-оборудования китайской SMEE. Компания уже поставляла компоненты для предыдущих поколений таких систем.
DUV-оборудование не считается передовым по западным меркам, но часть сканеров ASML попала под экспортные ограничения. Это подталкивает Китай к импортозамещению в данной сфере.
Инвестподразделение Huabo и связанный с Huawei фонд Shenzhen Yuanzhi Xinghuo вкладываются в Fujian Zhiqi Photonics — разработчика оптики, призванной заменить решения Zeiss. Компания выделилась из Castech в 2022 году.
После санкций 2019 года Huawei стала локомотивом импортозамещения в Китае. Усилия компании и партнёров направлены на создание литографического оборудования для выпуска более совершенных чипов.
Китайские производители чипов пока полагаются на закупленное впрок оборудование ASML — у CXMT и YMTC есть трёхлетний запас. При этом санкции США ускоряют разработку местных альтернатив, считают в Bernstein.
Западные эксперты уверены, что китайские аналоги литографического оборудования отстают минимум на 15 лет. SMIC уже тестирует систему для 28-нм чипов, пытаясь адаптировать её под 7-нм техпроцесс через мультипаттернинг.
Прототипы DUV-оборудования от Yuliangsheng при поддержке SMEE используют как импортные, так и китайские компоненты. Zeiss утверждает, что продаёт оптику только ASML, но источники говорят о вторичном рынке в Китае.
Шанхайская Yuliangsheng создана при участии стартапа SiCarrier, который, по данным Financial Times, тесно связан с Huawei — хотя сама Huawei это отрицает. Разработанную систему тестируют Huawei и SMIC.
Прототип пока не готов к производству сложных чипов и используется для более простых компонентов. Ключевая проблема — отсутствие качественной китайской оптики и лазерных источников.
Аналитики Bernstein называют Huawei «менеджером проектов», координирующим усилия отрасли на национальном уровне. До конца года Yuliangsheng планирует выпустить 12 DUV-сканеров.