Экстремальный ультрафиолет (EUV) с длиной волны 13,5 нм близок к физическому пределу. Следующий шаг — заэкстремальный ультрафиолет (B-EUV) с длиной волны 6,7 нм, что вдвое повышает разрешение по критерию Рэлея.
Экстремальный ультрафиолет (EUV) с длиной волны 13,5 нм близок к физическому пределу. Следующий шаг — заэкстремальный ультрафиолет (B-EUV) с длиной волны 6,7 нм, что вдвое повышает разрешение по критерию Рэлея.