Hwatsing Technology — ведущий китайский производитель оборудования для полировки кремниевых пластин — впервые внедрила контрольно-измерительную систему прямо в процесс химико-механической полировки.
Измерения ведутся в реальном времени, что ускоряет обработку и повышает качество. Первые образцы уже отгружены крупному китайскому поставщику материалов для работы с кремниевыми пластинами.
Пока система рассчитана на пластины диаметром 150 мм — сегмент зрелой литографии. Для производства передовых чипов она не подходит.
Оборудование применимо при выпуске датчиков и силовой электроники для электромобилей, роботов, потребительской электроники и телекоммуникаций.
Hwatsing контролирует ~85% китайского рынка своего сегмента и претендует на 37% мирового рынка. В 2018 году её доля не превышала 1%.
По оценке Bernstein, китайские поставщики заняли 39% местного рынка оборудования для полировки пластин. В литографии альтернативы ASML у них по-прежнему нет.