TSMC планирует начать массовое производство 1,4-нм чипов во второй половине 2028 года. Опытные образцы появятся в третьем квартале 2027. Компания пока не будет использовать дорогое оборудование High-NA EUV, в отличие от Samsung, и отложит его внедрение до 2029 года.